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PSM企业于2021中国显示装备零部件材料线上贸易对接会上,展示AP&M / DRP / Air-Jet / RPS等大气压等离子体

PSM企业(Keun ho Lee CEO)于6月17日,在首尔国际会展中心举行的2021中国显示装备零部件材料线上贸易对接会上,展示了AP&M, DRP, Air-Jet, RPS等大气压等离子体。

PSM企业致力于大气压等离子体之核心技术的开发,商品化,并将其应用在组合工艺,显示器转轴量产工艺等。In-Line大气压等离子体工艺是一种能将既有的,以化学工艺为基础的清洗工艺进行大幅改善的干式清洗工艺。并可有效地应用于半导体(Semiconductor),显示器(Display),触控面板(Touch Panel)等产业的技术。也是目前海内外显示器产业中,不可或缺的一项工艺。

PSM营业部员工Gyuho Lee|摄影-AVING news

PSM营业部员工Gyuho Lee表示:“将大气压等离子体in-line应用于既有的Batch型态之真空等离子体工艺的话,可在输送装置上对大尺寸的Glass panel进行清洗工艺。”接着表示:“大气压等离子体模组可代替目前依赖日本等国外零部件的EUV清洗工艺模组,除了可达到进口替代的功能,还能在技术和费用方面,为国内客户企业提供竞争的机会。

还表示:“这项技术最近常被应用在触控板制造工艺中的层压(Lamination)前处理工艺及模组组合工艺等领域。在之后的2次处理(Secondary Battery)等通过膜片Roll to Roll之表面处理工艺,以及改善非黏附性(Non-Adhesive)材料粘着力的表面处理方面也是公认的有效技术。”

AP Plasma | 图片提供-PSM

本次介绍的PSM产品可分为大气压等离子体产品和真空等离子体产品两大类。大气压等离子体产品依其用途可细分为AP&M, DRP, Air-Jet, RPS等产品。

AP&M是最具代表性的大气压等离子体产品,可使用在显示器,智能手机,二次电池,半导体封装,太阳能电池(Solar-cell), PCB工艺等需要稳定性的绝大部分工艺上。DRP是超高效率的大气压等离子体产品,在大气压等离子体清洗工艺模组中的表面清洗效能最为优越。可应用于需要强力清洗效果的Glass, Plastic基板表面。

Air-Jet是应用在LCD/OLED,触控板工艺环境的Jet型态的等离子体产品,适合应用在显示器嵌槽等极细小的部分。RPS是旋转Jet型态以rotary方式构成的等离子体产品,等离子体的适用范围较广。此外,其也具有在不使用N2气体的作业环境中,只运用CDA来构成工艺环境的优点。

真空等离子体产品能构成真空室(Chamber),可获得最佳的等离子体效能。PSM企业也持续开发与应用符合半导体和显示器业界需求的真空等离子体。

另一方面,PSM企业日后计划对于中国显示器市场将持续开拓等离子体事业。另外,我们也在显示器和半导体市场中,推进扩展可多方面应用的真空等离子体设备企业。此外,本企业也正在开发运用具有重大改变的粒子改善技术之新产品,以及在不使用PCW(Process Cooling Water)仅应用工艺气体(Process Gas)即可运作的等离子体产品。

AP Plasma | 图片提供-PSM
AP Plasma | 图片提供-PSM
AP Plasma | 图片提供-PSM
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