Sunday, December 15, 2024
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[LED EXPO 2013 抢先看] GIGA LANE, 将展出LED用Etcher ‘MAXIS300L 系列’ 产品

ICP Ether 专门企业GIGA LANE (gigalane.com)将参加于6月25日至28日在韩国一山KINTEX3,4展厅举办的LED EXPO & OLED EXPO 2013,展出LED用PSS与使用在Gan Etch上的LED Etcher, MAXIS300L系列产品。

MAXIS300L是使用在形成发光效率的PSS(Patterned Sapphire Substrate)蚀刻工序与Photonics Crystal蚀刻工序,形成电极的GaN蚀刻工序等的装备。以均一的蚀刻,优秀的选择比,安定的硬件为基础,确保产品的优秀生产性。

GIGA LANE现开发并保有RIE, ICP, CCP型的单独等离子素材,使用这些素材进行多种来样加工及量产。根据相关人士的介绍,GIGA LANE自2000年开发了半导体用Etcher以来,针对MEMS及TSV市场以Deep Silicon Etcher与LED用PSS,在ICP Etcher闭门取得全球最高水准的装备认证,共保有45个核心登录特许证明。

自2006年开始运营MEMS FAB,在多种Recipe及强烈的DB基础上,保有Deep Silicon Etch,核心技术Electro Plating工序等。

今年迎来第11届的 LED EXPO & OLED EXPO 2013(www.ledexpo.com)是将关于LED,OLED照明,装备,配件,素材,研究机构等所有相关企业与机构聚集在一起,检验LED产业现状,为进一步确保国际竞争力提供战略方案。

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